次日,星科院,光刻机研发实验室。
“老王,就等你们了。”
“老李,那还等什么?直接开始吧,争取一次过。”
“快来说说昨天光刻机是什么问题?”老王疑惑的问道。
“曝光不足,初步推断应该是紫外光源的问题。”
“那这样老李你们去检查紫外光源,剩下的我们挨个挨个的检查,研发不能心急,毕竟心急吃不了热豆腐。”
“去去去老王,你看我什么时候心急了,以前咋没见过你这么话多呢?”
经过了大约几小时的盘查,终于发现了问题所在。
“老王紫外光源盘查过了,是功率不足。”
“老李我这边也有问题,咱们的电机有点不太行,功率太小了。”
“看来咱们还有很长的道路要走啊,实现国产也不是嘴上说说的那么容易。”
“老李别那么沮丧,咱们就不这两个问题吗?使劲攻关一下就可以了,你们攻克紫外光源的功率,我们攻克电机的功率,把这个难关给闯过去,我们的国产高端光刻机就来了。”
……
简单的给大家科普一下。
紫外线光源又称紫外线发生器,即发生生成紫外线的装置。紫外线光源是紫外线技术的重要组成部分,紫外线技术的发展往往依赖于紫外线光源的发展。当出现了适用的新型紫外线光源时,必然可以促进某种行业的发展。在光学研究上取得了很大进展,这同紫外线光源的发展也是分不开的。紫外光源作为一个元器件,在各个领域正发挥着它的重要作用。
所以光刻机要是紫外光源不行,就会影响精度,电机也是同样的道理。
电机(英文:Electric machinery,俗称“马达”)是指依据电磁感应定律实现电能转换或传递的一种电磁装置。
电机在电路中是用字母M(旧标准用D)表示,它的主要作用是产生驱动转矩,作为用电器或各种机械的动力源,发电机在电路中用字母G表示,它的主要作用是利用机械能转化为电能。
电机还分为很多种类,但是光刻机的电机也有很多,这里也就不一一给大家说了。(毕竟,在度娘那没搜索到,狗头保命,我真的没想水字数啊,我在给你们科普科普。)
……
月底,星科院,光刻机研发实验室。
“老李你说我们这次能成功吗?”
“我感觉问题不大,毕竟我们都里里外外都检查了好几遍,应该一次过,不成问题。”
“也是,毕竟这是光刻机,还是最高可以达到皮米级别的,有点小紧张。”
“老王别紧张,没事,有问题再拆了,好好研究研究就行了。”但是说完这话的老李手心也直冒汗。
“那我要开始宣布测试了,准备好了没有?我倒数321开机。”
“3”
“2”
“1”
“开机”
只感觉地面有些轻微的抖动,突然一声响传来,光刻机开始了工作 。
光刻机的工作原理是:
在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。
一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。
……
“老李,根据数据显示,咱们的光刻机可以做到皮米级别的了,这说明我们已经完虐了所有生产光刻机的厂商,而且咱们最高可以达到100皮米。”(别看100皮米也就那样,你自己度娘搜搜你就知道了。)
“这样,老王你们继续测试,我去通知陆总。”说完直接走了出去,激动的拿起电话就拨通了陆昊的电话。
……
星空科技大厦,顶层陆昊,正在拿起笔处理公司的文件,并骂骂咧咧的说到:“这该死的文件让不让人活了,不行得找个猎头挖个总裁过来,我大好的青春不能浪费在这里,这简直是对我亿万富豪的侮辱。”
突然电话一响,陆昊看都没看就接了起来。
“喂,哪位?”
“陆总,是我李院长。”
“哦,李老啊是什么事让您打电话给我,研发经费不够了吗?直接打给财务室吧,缺多少补多少。”
“不用不用,陆总是这样的,我们的光刻机研发成功了,最高可以达到皮米级别的,已经完虐asml这个世界第一的光刻机公司。”李院长十分激动的说道。
陆昊听完马上站起来:“什么,研发成功了,这样你那边在等等我马上过来,李老你们可是立了大功,有了光刻机,我们就不怕被卡脖子了,这样先挂了,我马上过来。”
“小许,备车去星科院。”
一路上马不停蹄的开车来到星科院,一下了就看见李院长在大门口迎接。
“李院长,下次不用来接我,你这么大把年纪,出了什么意外可不好。”
“没事,陆总,我可是老当益壮,不像你想的那么弱不禁风,在干个几十年都不成问题。”李院长笑呵呵的说道。
“走吧,李老去看看你们研发的光刻机。”
一行人来到了星科院,光刻机的研究实验室,一进门就看见一个大家伙。
不用多想,就知道是光刻机。
“李老,快给我介绍介绍,咱们这台光刻机。”
“陆总,咱们这台光刻机采用的是极光紫外光源,普通的紫外光源到皮米,就已经精度不够了,但咱们的极光紫外光源,是经过多重折射,形成的一种混合光源,它是可以控制功率和大小还有精度的,再经过我们几个不同的曝光机械,共同运作,形成的高纯净度和高功率的效果,足以达到皮米级别的芯片运用。
其次里面的电机属于叠加运作,他可以把每一个电机发挥到最大化,以此来控制良品率,至于里面的光刻,我们采用的是3+1+2的技术,三次曝光一次光刻,两次涂胶,以此达到100皮米的效果。”
“成本怎么样?”
“陆总,皮米级别的成本只比阿斯麦尔顶级光刻机高出10%, 纳米级别的成本,只有阿斯麦尔顶级光刻机的40%。”
……